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无色液体。对湿敏感。易水解成三甲硅烷基三氟乙酰***和三氟乙酰***。相对密度(d204)0.97。熔点-10℃。沸点40℃(1.60kPA)、47~50℃(1.87kPA)。折光率 (n20D)1.3840。闪点23℃。易燃。有腐蚀性。
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